Техпроцесс начинается с формирования поликристаллической алмазной плёнки, рассказали в ИНХ СО РАН. Затем с помощью магнетронного напыления на неё наносят слой железа, молибдена или никеля толщиной несколько нанометров и отправляют на отжиг в бескислородной атмосфере.При высокой температуре в местах контакта с металлом алмаз переходит в электропроводящую графеновую форму толщиной в два нанометра. В итоге получается готовый электронный элемент, совмещающий в себе изоляционную подложку, полупроводниковый...
